【摘要】本文通过AFM的面扫描，以及高精度的尺寸测量功能，准确的分析LED Chip表面孔洞的尺寸和深度，为产品质量提供快捷有效的证据。

【关键词】 LED，失效分析，AFM

1. 引言

该LED Chip在生产完成后，发现表面存在异常，后续用SEM观察到表面有孔洞缺陷，但SEM无法测试其深度，为帮助查找其缺陷形成的原因，需测量其孔洞深度及表面粗糙度。

图1. 孔洞SEM观察图

2. 试验与结果

图2. 孔洞深度测试图

图3. 正常位置粗糙度测试图

图4. 异常位置粗糙度测试图

3. 结论

根据AFM测试结果，样品表面异常凹坑深度为16.2nm，异常区域粗糙度为0.2nm，正常区域粗糙度为0.106nm，孔洞处于异常位置的中间。

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